特种气体除了应用于太阳能电池、集成电路制造等，还可以应用于液晶显示器、光纤，下面东方工业气体就为大家介绍一下特种气体是怎么应用于液晶显示器、光纤的。

　　一、液晶显示器

　　1、TFT/LCD的应用

　　TFT (薄膜晶体管) / LCD (液晶显示器) 的每个像素点都是由集成在自身上的TFT来控制，是有源像素点。因此, 其具有体积小、重量轻、低辐射、低耗电量、全彩化、速度快、对比度和亮度高、屏幕观察角度大、分辨率高等优点, 是目前主流的平面显示设备。

　　2、TFT/LCD生产工艺和气体应用

　　TFT/LCD的生产包括TFT阵列(包括薄膜、光刻、刻蚀) 、彩色滤光片(包括黑矩阵膜、红绿蓝膜、透明导电层) 、面板、模组等工序。薄膜工序, 通过化学气相沉积, 在玻璃基板上沉积SiO2、SiNx、a2Si、n 型a2Si薄膜。使用的特种气体有SiH4、PH3、NH3、NF3 等。干法刻蚀工序, 在等离子气态氛围中选择性腐蚀基材。通常采用SF6、HCl、Cl2 等气体。

　　二、光纤

　　光纤是当前信息传输中无可替代的传输介质，全球80%以上信息量通过光纤传输。光纤的主要成分是SiO2。从目前制造光纤的工艺来看, 其主要原材料是SiCl4。当然根据光纤的品种不同, 类型不同, 芯层掺杂微量元素的比例和成分也会不同。而芯层掺杂的不同决定着光纤的特性。根据国际电信联盟( ITU) 的相关规定, 光纤的种类主要分为多模光纤(G1651光纤, 主要运用于局域网的传输) 、单模光纤( G1652 主要运用于城域网、局域网和长途干线的传输) 、色散位移单模光纤(G1653) 和截止波长单模光纤(G1654) 、非零色散位移单模光纤(G1655 /G1656, 主要用于长途干线) 。

　　光纤预制棒的生产工艺和气体应用通信用光纤大多数是由石英材料组成的。光纤制造过程包括光纤预制棒制备、光纤拉丝等步骤。

　　目前, 光纤预制棒制备Z常用的是两步法: 一是采用气相沉积工艺, 如外部气相沉积法(OVD) 、轴向气相沉积法(VAD) 、改进的化学气相沉积法(MCVD) 、等离子化学气相沉积法( PCVD) 等,来生产光纤预制棒的芯棒(Core2rod) ; 第二步是在气相沉积工艺获得芯棒的基础上加入外包层(Over2cladding) , 制成光纤预制棒。

　　化学气相沉积的核心反应是SiCl4 和GeCl4 在氢、氧火焰环境下, 水解生成SiO2 和GeO2 粉尘( SOOT) 。其中SiCl4、GeCl4 需要加热, 用蒸气或氩气携带的方式送入反应室。常用的其它特气还有CH4、CF4、Cl2、SF6 等。